通常情況下，激光光束寬度定義為：光束強度為其峰值的1/e2（13.5％）時所對應的寬度尺寸。該值是通過測定高斯光而得出的，并準確地描述了在TEM00模型下激光器的光束分布。大部分激光器發(fā)出的基本上都是高斯光，因此這種簡單定義方法在行業(yè)中普遍接受。
在IS011146標準中，為光束寬度下了一個更為準確的定義，該標準定義以功率密度分布的中心二階矩為基礎，光束橫截面上功率密度分布的范圍就是光束寬度。二階矩的點是從原始強度數據計算得出的值，它對噪聲非常的敏感。還有一種測量光束寬度的方法，可以對光束積分計算出，不會因為噪聲問題而影響測量結果，這種方法被稱之為刀口法。 
光束寬度測量技術
光束輪廓測量儀器主要有四種類型：相機型光斑分析儀，刀口型光斑分析儀，狹縫掃描型光束質量分析儀和針孔掃描型光斑分析儀，每一種都有其各自的優(yōu)點和缺點。以色列Duma推出了第五種類型，這種新的測試方法結合了刀口技術和相機系統。不同的測量方法得出的結果也略有不同，根據以往的測試經驗，與CMOS技術相比，使用CCD光束輪廓儀，測量脈沖激光束的更準確；使用刀口技術時，尤其是與斷層圖像重建程序搭配使用時，測量連續(xù)激光束更準確。